[實(shí)用新型]用于監(jiān)視激光加工過程的裝置和激光加工頭

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200620115645.0
• 申請(qǐng)日: 2006-05-25
• 公開（公告）號(hào): CN201015816Y
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬庫(kù)斯·科格爾－霍拉赫爾;阿克塞爾·克特溫克爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 普雷茨特兩合公司
• 主分類號(hào): B23K26/03
• 分類號(hào): B23K26/03;B23K26/04;B23K26/067
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王艷江;楊生平

1.用于監(jiān)視激光加工過程的裝置，包括：

——輻射敏感的接收器設(shè)備(16、17)，用于檢測(cè)來自在激光束(13)和工件(21)之間的相互作用區(qū)(20)中的輻射，

——至少一個(gè)成像裝置(11、14、15、18)，該裝置將相互作用區(qū)(20)中的至少一個(gè)待觀察區(qū)域顯示到接收器設(shè)備(16、17)上，以及

——分析電路(22)，

其特征在于，

——所述輻射敏感的接收器設(shè)備(16、17)包括至少一個(gè)輻射敏感的接收器(16)和至少一個(gè)照相機(jī)(17)，以及

——所述的至少一個(gè)輻射敏感的接收器(16)和所述的至少一個(gè)照相機(jī)(17)的輸出信號(hào)被同時(shí)輸送給該分析電路(22)，并且該分析電路處理接收到的接收器設(shè)備的輸出信號(hào)，以在它那方面提供表明激光加工過程的進(jìn)程特征的輸出信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，接收器設(shè)備包括第一和第二輻射敏感的接收器(16’、16”)，它們具有不同的光譜敏感性。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，該或這些輻射敏感的接收器(16、16’、16”)各包括光電二極管。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，該或這些輻射敏感的接收器(16、16’、16”)包括光電二極管陣列、PSD或CMOS接收器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，所述的至少一個(gè)照相機(jī)(17)具有一維或二維的CCD圖像傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，至少一個(gè)輻射敏感的接收器(16)及/或照相機(jī)(17)設(shè)置有確定待觀察的區(qū)域的光闌(19)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6的裝置，其特征在于，設(shè)置了正或負(fù)光闌作為光闌(19)。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求之一的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)成像裝置具有

——為激光束(13)限定工作光路(12)的聚焦光學(xué)系統(tǒng)(11)，

——用于將來自在激光束(13)和工件(21)之間的相互作用區(qū)(20)中的輻射從工作光路(12)中輸出耦合的元件(14)以及

——至少一個(gè)用于將被輸出耦合的輻射聚焦到所述至少一個(gè)輻射敏感的接收器(16)以及接收器設(shè)備的所述至少一個(gè)照相機(jī)(17)上的聚焦光學(xué)系統(tǒng)(18)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)輻射敏感的接收器(16)以及接收器設(shè)備的所述至少一個(gè)照相機(jī)(17)分別配有獨(dú)特的聚焦光學(xué)系統(tǒng)(18)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9的裝置，其特征在于，每個(gè)輻射敏感的接收器(16’、16”)均配有獨(dú)特的聚焦光學(xué)系統(tǒng)(18’、18”)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其特征在于，用于將輻射從工作光路(12)中輸出耦合的元件是部分透明的鏡(14)，該鏡讓激光束(13)通過并且將來自與激光束(13)的光譜范圍不同的光譜范圍中的輻射轉(zhuǎn)向接收器設(shè)備的方向中。

12.根據(jù)權(quán)利要求11的裝置，其特征在于，該部分透明的鏡(14)是一種二色性的鏡。

13.根據(jù)權(quán)利要求11的裝置，其特征在于，來自待觀察區(qū)域中的輻射的借助鏡(14)的轉(zhuǎn)向?yàn)?0°。

14.根據(jù)權(quán)利要求8的裝置，其特征在于，設(shè)有至少一個(gè)分光鏡(15)，所述分光鏡將從工作光路(12)中輸出耦合的輻射分離到不同的射束中，這些射束被分別引導(dǎo)到單個(gè)的接收器(16)和照相機(jī)(17)上。

15.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，照相機(jī)(17)具有成像裝置，借助所述成像裝置照相機(jī)直接觀察相互作用區(qū)(20)的區(qū)域。

16.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，處理接收器設(shè)備(16、17)的輸出信號(hào)的分析電路(22)是一種分析電路，其為控制或調(diào)節(jié)激光束(13)及/或激光加工過程的控制或調(diào)節(jié)電路(23)提供輸出信號(hào)。

17.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其特征在于，處理接收器設(shè)備(16、17)的輸出信號(hào)的分析電路(22)是一種分析電路，其提供輸出信號(hào)用于監(jiān)視及/或記錄激光加工過程的質(zhì)量。