[實用新型]氣流控制系統無效
| 申請號： | 200620046601.7 | 申請日： | 2006-10-08 |
| 公開（公告）號： | CN200953093Y | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發明（設計）人： | 于鳳雷;吳凌輝;張偉 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G05D7/06 | 分類號： | G05D7/06;H01L21/677;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 | 代理人： | 王函 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣流 控制系統 | ||
【權利要求書】：
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