[發(fā)明專利]基板搬運(yùn)裝置、基板搬運(yùn)方法以及基板處理系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610173298.1
• 申請(qǐng)日: 2006-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN101096245A
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 堀口貴弘
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社未來視野
• 主分類號(hào): B65G49/06
• 分類號(hào): B65G49/06;B65G49/07;B65G37/00;G02F1/1333;H01L21/677
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 何騰云

1.一種基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，在設(shè)于腔內(nèi)，且具備裝載基板的固定載物臺(tái)和搬運(yùn)基板的可動(dòng)載物臺(tái)的基板搬運(yùn)裝置中，

上述可動(dòng)載物臺(tái)，配置了搬運(yùn)基板的多個(gè)搬運(yùn)輥、安裝在該搬運(yùn)輥上的輥磁鐵、與該輥磁鐵進(jìn)行磁性結(jié)合的從動(dòng)磁鐵，

上述可動(dòng)載物臺(tái)處于上升位置時(shí)，上述從動(dòng)磁鐵與設(shè)于上述腔之外的驅(qū)動(dòng)磁鐵進(jìn)行磁性結(jié)合而被驅(qū)動(dòng)，同時(shí)上述基板離開上述固定載物臺(tái)而被上述搬運(yùn)輥支持，

上述可動(dòng)載物臺(tái)處于下降位置時(shí)，上述從動(dòng)磁鐵和驅(qū)動(dòng)磁鐵進(jìn)行磁性脫離，同時(shí)上述基板被裝載在上述固定載物臺(tái)上。

2.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述從動(dòng)磁鐵，由依次進(jìn)行磁性結(jié)合的多個(gè)磁鐵組成，這些磁鐵中之一與上述輥磁鐵進(jìn)行磁性結(jié)合，以使搬運(yùn)輥旋轉(zhuǎn)。

3.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述驅(qū)動(dòng)磁鐵，被配設(shè)于上述腔隔壁的一部分朝向腔內(nèi)側(cè)形成凸?fàn)畹目招母舯趦?nèi)。

4.如權(quán)利要求3所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述空心隔壁，其具有剖面近似半圓形的隔壁部，介于該隔壁部，把來自驅(qū)動(dòng)磁鐵的驅(qū)動(dòng)力傳遞到從動(dòng)磁鐵。

5.如權(quán)利要求1所述的基板搬運(yùn)裝置，其特征在于，上述腔的內(nèi)側(cè)壓力可以減少到規(guī)定的壓力。

6.一種使用如權(quán)利要求1～5中任何一項(xiàng)所述的基板搬運(yùn)裝置的基板搬運(yùn)方法，其特征在于，上述可動(dòng)載物臺(tái)處于上升位置時(shí)，通過上述搬運(yùn)輥的旋轉(zhuǎn)把基板沿著第一軸向搬入上述可動(dòng)載物臺(tái)上，或者從上述可動(dòng)載物臺(tái)上搬出，

上述可動(dòng)載物臺(tái)處于下降位置時(shí)，沿著與上述第一軸向近似垂直的第二軸向把上述基板搬入上述固定載物臺(tái)上，或者從上述固定載物臺(tái)上搬出。

7.一種基板處理系統(tǒng)，其特征在于，具備介于第一門閥可與大氣側(cè)進(jìn)行連通的裝入固定腔，

在內(nèi)部對(duì)基板進(jìn)行規(guī)定處理的加工腔，

在內(nèi)部具有介于第二門閥可與上述裝入固定腔進(jìn)行連通，且介于第三門閥可與上述加工腔進(jìn)行連通，并且相對(duì)上述裝入固定腔及上述加工腔進(jìn)行基板搬入及搬出的搬運(yùn)臂的轉(zhuǎn)移腔，

上述裝入固定腔，在內(nèi)部具備權(quán)利要求5所述的基板搬運(yùn)裝置。