[發明專利]低溫氣體制冷提高MCVD沉積效率與質量的方法和裝置無效
| 申請號： | 200610169729.7 | 申請日： | 2006-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN101041550A | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發明（設計）人： | 魏淮;鄭凱;毛向橋;彭健;李宏雷 | 申請（專利權）人： | 北京交通大學 |
| 主分類號： | C03B37/018 | 分類號： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 北京市商泰律師事務所 | 代理人： | 齊玲;毛燕生 |
| 地址： | 100044*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 低溫 氣體 制冷 提高 mcvd 沉積 效率 質量 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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