[發(fā)明專利]用來拋光半導體層的組合物無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610169030.0 | 申請日： | 2006-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN1982393A | 公開（公告）日： | 2007-06-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 卞錦儒 | 申請（專利權(quán)）人： | 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;C09G1/16;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美國特*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用來 拋光 半導體 組合 | ||
【權(quán)利要求書】：
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