[發(fā)明專利]一種壓電厚膜驅動的微變形鏡及其制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610167153.0 | 申請日： | 2006-12-09 |
| 公開（公告）號： | CN101021617A | 公開（公告）日： | 2007-08-22 |
| 發(fā)明（設計）人： | 褚家如;許曉慧;王翔;趙鋼;馮艷;劉芳;劉勇;張晉弘 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08;H01L41/09;H01L41/24 |
| 代理公司： | 合肥華信專利商標事務所 | 代理人： | 陳進 |
| 地址： | 230026*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓電 驅動 變形 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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