[發明專利]檢測有缺陷的基板的設備和方法無效
| 申請號： | 200610163112.4 | 申請日： | 2006-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN1975404A | 公開（公告）日： | 2007-06-06 |
| 發明（設計）人： | 韓春九 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | G01N27/61 | 分類號： | G01N27/61;G06F17/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 李芳華;邸萬奎 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 缺陷 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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