[發明專利]基板檢查裝置及基板檢查方法無效
| 申請號： | 200610156264.1 | 申請日： | 2006-12-28 |
| 公開（公告）號： | CN1996028A | 公開（公告）日： | 2007-07-11 |
| 發明（設計）人： | 戒田理夫 | 申請（專利權）人： | 日本電產麗德株式會社 |
| 主分類號： | G01R27/04 | 分類號： | G01R27/04;G01R27/14;G01R31/00;G01R31/28;G01R31/02;G01R1/073;H05K3/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 浦柏明;劉宗杰 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢查 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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