[發明專利]非破壞檢查裝置和非破壞檢查方法無效
| 申請號： | 200610143923.8 | 申請日： | 2006-11-02 |
| 公開（公告）號： | CN1959395A | 公開（公告）日： | 2007-05-09 |
| 發明（設計）人： | 二川清 | 申請（專利權）人： | 恩益禧電子股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N25/72 | 分類號： | G01N25/72;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 陸錦華;李亞 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 破壞 檢查 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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