[發(fā)明專利]操作離子源的方法和離子注入裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610136051.2 | 申請日： | 2006-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN1953129A | 公開（公告）日： | 2007-04-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 井內(nèi)裕;土肥正二郎;安東靖典;松田恭博 | 申請（專利權(quán)）人： | 日新意旺機(jī)械股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J27/02 | 分類號： | H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 李濤;鐘強(qiáng) |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 操作 離子源 方法 離子 注入 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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