[發明專利]光電差分測量系統和測量方法有效
| 申請號： | 200610117401.0 | 申請日： | 2006-10-20 |
| 公開（公告）號： | CN1971425A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發明（設計）人： | 關俊;李小平;李志丹;田湍 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光電 測量 系統 測量方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海微電子裝備有限公司，未經上海微電子裝備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610117401.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
