[發明專利]晶片檢查系統中晶片表面的照明裝置和方法無效
| 申請號： | 200610109744.2 | 申請日： | 2006-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN1912453A | 公開（公告）日： | 2007-02-14 |
| 發明（設計）人： | 禾根康普·岱特雷夫 | 申請（專利權）人： | 比斯泰克半導體系統股份有限公司 |
| 主分類號： | F21S10/06 | 分類號： | F21S10/06;F21V7/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 德國韋茨拉爾D－35*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶片 檢查 系統 表面 照明 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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