[發(fā)明專利]降低超純水中微量有機物的方法及其系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610098429.4
• 申請日: 2006-07-04
• 公開（公告）號: CN101100331A
• 公開（公告）日: 2008-01-09
• 發(fā)明（設計）人: 金光祖;張佩琳;陳建宏;陳秋美
• 申請（專利權）人: 財團法人工業(yè)技術研究院
• 主分類號: C02F1/72
• 分類號: C02F1/72;C02F1/461
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權代理有限公司
• 代理人: 梁揮;徐金國

1.一種降低超純水中微量有機物的方法，其特征在于，包含步驟：

提供一總有機碳濃度小于1ppb以下的超純水，其包含一微量有機物；

降解該超純水的該微量有機物，使該微量有機物解離為一帶電離子；及

將該超純水導入一連續(xù)式電解去離子裝置以去除該帶電離子。

2.根據(jù)權利要求1所述的降低超純水中微量有機物的方法，其特征在于，該微量有機物被一高級氧化方式降解。

3.根據(jù)權利要求1項所述的降低超純水中微量有機物的方法，其特征在于，該高級氧化方式為紫外光氧化或紫外光/臭氧氧化方式。

4.根據(jù)權利要求1所述的降低超純水中微量有機物的方法，其特征在于，還包含脫氣處理該超純水的步驟。

5.根據(jù)權利要求1所述的降低超純水中微量有機物的方法，其特征在于，該連續(xù)式電解去離子裝置包含：

一對正負電極；

多離子選擇性透過膜，在該對正負電極間以離子選擇性透過膜分隔出多數(shù)個濃縮室及多數(shù)個脫鹽室；及

至少一離子交換樹脂，在該脫鹽室中設置一離子交換樹脂，該離子交換樹脂內(nèi)的離子可選擇性的與脫鹽室中的帶電離子交換，并以該對正負電極吸引該帶電離子通過離子選擇性透過膜，使該帶電離子移動至濃縮室，而將在該脫鹽室的超純水處理的更潔凈。

6.根據(jù)權利要求5所述的降低超純水中微量有機物的方法，其特征在于，該離子交換樹脂包含陽離子交換樹脂、陰離子交換樹脂及不再生離子交換樹脂。

7.根據(jù)權利要求5所述的降低超純水中微量有機物的方法，其特征在于，該濃縮室所通過的水壓及水量不得大于通過該脫鹽室的水壓及水量。

8.根據(jù)權利要求1項所述的降低超純水中微量有機物的方法，其特征在于，該連續(xù)式電解去離子裝置的較佳操作電流介于0.1至0.8安培。

9.一種降低超純水中微量有機物的系統(tǒng)，其特征在于，包含：

一超純水供應裝置，用以提供一總有機碳濃度小于1ppb以下的超純水，其包含一微量有機物；

一降解處理裝置，用以降解該超純水制造裝置所提供的該超純水，使該微量有機物解離為一帶電離子；及

一連續(xù)式電解去離子裝置，用以去除該超純水的該帶電離子。

10.根據(jù)權利要求9所述的降低超純水中微量有機物的系統(tǒng)，其特征在于，該超純水供應裝置選自純水制造系統(tǒng)的前處理系統(tǒng)、主處理系統(tǒng)、末段循環(huán)回路其中之一。

11.根據(jù)權利要求9所述的降低超純水中微量有機物的系統(tǒng)，其特征在于，該降解處理裝置為紫外光處理裝置或紫外光/臭氧處理裝置。

12.根據(jù)權利要求9所述的降低超純水中微量有機物的系統(tǒng)，其特征在于，還包含一脫氣裝置，用以去除該超純水所含的氣體。

13.根據(jù)權利要求9所述的降低超純水中微量有機物的系統(tǒng)，其特征在于，該連續(xù)式電解去離子裝置包含：

一對正負電極；

多離子選擇性透過膜，在該對正負電極間以離子選擇性透過膜分隔出多數(shù)個濃縮室及多數(shù)個脫鹽室；及

至少一離子交換樹脂，在該脫鹽室中設置一離子交換樹脂，該離子交換樹脂內(nèi)的離子可選擇性的與脫鹽室中的帶電離子交換，并以該對正負電極吸引該帶電離子通過離子選擇性透過膜，使該帶電離子移動至濃縮室，而將在該脫鹽室的超純水處理的更潔凈。

14.根據(jù)權利要求13所述的降低超純水中微量有機物的系統(tǒng)，其特征在于，該離子交換樹脂包含陽離子交換樹脂、陰離子交換樹脂及不再生離子交換樹脂。

15.根據(jù)權利要求13所述的降低超純水中微量有機物的系統(tǒng)，其特征在于，該濃縮室所通過的水壓及水量不得大于通過該脫鹽室的水壓及水量。

16.根據(jù)權利要求13所述的降低超純水中微量有機物的系統(tǒng)，其特征在于，該連續(xù)式電解去離子裝置的較佳操作電流介于0.1至0.8安培。