[發明專利]下游等離子體處理設備和方法無效
| 申請號： | 200610076232.0 | 申請日： | 2006-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN1862393A | 公開（公告）日： | 2006-11-15 |
| 發明（設計）人： | 徐禾臻 | 申請（專利權）人： | PSK有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 武玉琴;張友文 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 下游 等離子體 處理 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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