[發明專利]低非線性誤差的位移測量干涉儀無效
| 申請號： | 200610066827.8 | 申請日： | 2006-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN1854678A | 公開（公告）日： | 2006-11-01 |
| 發明（設計）人： | 威廉·克萊·施盧赫特爾;羅伯特·托德·貝特 | 申請（專利權）人： | 安捷倫科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B9/02 | 分類號： | G01B9/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 非線性 誤差 位移 測量 干涉儀 | ||
【權利要求書】：
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