[發明專利]一種投影物鏡光學系統有效
| 申請號： | 200610027264.1 | 申請日： | 2006-06-02 |
| 公開（公告）號： | CN1851526A | 公開（公告）日： | 2006-10-25 |
| 發明（設計）人： | 李鐵軍;黃玲;魏俊 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/18 | 分類號： | G02B27/18 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 投影 物鏡 光學系統 | ||
【說明書】：
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