[發(fā)明專(zhuān)利]用硅濕法刻蝕和鍵合工藝制備相變存儲(chǔ)器的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610027008.2 | 申請(qǐng)日： | 2006-05-26 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1858922A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-11-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 宋志棠;劉奇斌;封松林 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L45/00 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L45/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 濕法 刻蝕 工藝 制備 相變 存儲(chǔ)器 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
下載完整專(zhuān)利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專(zhuān)利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)。該專(zhuān)利全部權(quán)利屬于中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所，未經(jīng)中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專(zhuān)利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610027008.2/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專(zhuān)利網(wǎng)。
- 上一篇：觸碰式面板的校正方法
- 下一篇：安神補(bǔ)腦軟膠囊及其制備方法
