[發明專利]臨界尺寸均勻性補償方法無效
| 申請號： | 200610024871.2 | 申請日： | 2006-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN101042527A | 公開（公告）日： | 2007-09-26 |
| 發明（設計）人： | 王謹恒;鄧澤希 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 臨界 尺寸 均勻 補償 方法 | ||
【權利要求書】：
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