[發明專利]正型抗蝕劑組合物及使用其形成抗蝕圖形的方法有效
| 申請號： | 200610007165.7 | 申請日： | 2002-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN1818785A | 公開（公告）日： | 2006-08-16 |
| 發明（設計）人： | 巖井武;久保田尚孝;藤村悟史;宮入美和;羽田英夫 | 申請（專利權）人： | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/039 | 分類號： | G03F7/039;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 陳長會 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 正型抗蝕劑 組合 使用 形成 圖形 方法 | ||
【說明書】：
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