[發(fā)明專利]涂敷·顯影裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610004791.0 | 申請日： | 2006-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN1815368A | 公開（公告）日： | 2006-08-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 飽本正巳;林伸一;林田安;松岡伸明;木村義雄;上田一成;伊東晃 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 溫大鵬 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 涂敷 顯影 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
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