[發明專利]多源蒸發物理氣相沉積系統有效
| 申請號： | 200610001881.4 | 申請日： | 2006-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN1804106A | 公開（公告）日： | 2006-07-19 |
| 發明（設計）人： | 樊菁;舒勇華;劉宏立 | 申請（專利權）人： | 中國科學院力學研究所 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京中創陽光知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 尹振啟 |
| 地址： | 100080北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 蒸發 物理 沉積 系統 | ||
【說明書】：
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