[發明專利]沉積系統以及用于測量沉積系統的沉積厚度的方法有效
| 申請號： | 200610000429.6 | 申請日： | 2006-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN1824829A | 公開（公告）日： | 2006-08-30 |
| 發明（設計）人： | 黃珉婷;李星昊 | 申請（專利權）人： | 三星SDI株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/54 | 分類號： | C23C14/54;C23C16/52;H01L21/205;H01L51/56;G05D5/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 | 代理人： | 羅正云;宋志強 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 沉積 系統 以及 用于 測量 厚度 方法 | ||
【說明書】：
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