[發明專利]電子器件及其形成工藝

無效

• 申請號: 200580045259.7
• 申請日: 2005-12-29
• 公開（公告）號: CN101091265A
• 公開（公告）日: 2007-12-19
• 發明（設計）人: C·D·麥克費森;D·D·沃克;M·斯坦納
• 申請（專利權）人: E.I.內穆爾杜邦公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H05B33/02;H05B33/12
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 朱黎明

技術領域

本發明一般涉及電子器件及其形成工藝，尤其涉及包括包含有機層的線的電子器件以及用于形成這種電子器件的工藝。

背景技術

包括有機電子器件的電子設備被越來越廣泛地應用于日常生活中。有機電子器件的示例包括有機發光二極管(“OLED”)。各種沉積技術被用于形成OLED中所用的層。用于印刷層的技術包括噴墨印刷和連續印刷。

由于其分配精確量液體的能力，噴墨印刷已經被廣泛地用于全彩OLED顯示器的形成中。然而，噴墨印刷機不能打印最窄的線。噴墨印刷機以滴劑方式分配液體。可使用40pL的點滴，但是具有約41微米的直徑。即使在使用最新的噴墨技術時，10pL的點滴也具有約26微米的直徑。除具有有限的打印細線的能力，噴墨印刷機的印刷頭以不大于約0.1m/s的速率移動。典型的印刷速率約為0.064m/s。因此，噴墨印刷機是耗時的，從而導致有限的器件生產量。

沉積有機層的這種低流率并基于點滴的方法通常被用來避免液相成分溢出到顯示器器件中與不同顏色相關聯的阱結構的相鄰開口中。液相成分的溢出或滲出會降低性能或改變由相鄰電子元件所生成的顏色。

然而，隨著器件中有機電子元件的數量通過分辨率或者器件表面積的增加而增加，將增加典型噴墨沉積所使用時間的長度，從而導致降低生產量，并由此增加了成本。

發明內容

電子器件包括襯底和覆蓋于該襯底之上、并限定以一組矢量方式排列的一開口陣列的結構。在沿著矢量組第一矢量的多個開口之間的第一位置上，該第一位置上的第一高度基本上彼此相等。電子器件也包括包含有機層的線，該有機層至少部分地位于沿著第一矢量的開口內，并覆蓋在處于沿著第一矢量的開口之間的位置上的結構之上。

用于形成電子器件的工藝包括形成覆蓋于襯底之上的結構。該結構定義了以一矢量組方式排列的一開口陣列，其中在沿著該矢量組第一矢量的開口之間的第一位置上，這些第一位置上的第一高度基本上彼此相等。該工藝還包括印刷包括第一有機層的第一線，其中該第一線至少部分地位于沿著第一矢量的開口內，并覆蓋在處于沿著第一矢量的開口之間的位置上的結構之上。

電子器件包括襯底和由覆蓋于該襯底上的第一組結構所限定的第一開口矢量。該第一組結構具有基本上彼此相等的第一高度。電子器件還包括包含第一有機層的第一線，該有機層至少部分地位于第一開口矢量內并覆蓋于第一組結構之上。該電子器件也包括有第二組結構所限定的、并基本上平行于第一開口矢量的第二開口矢量。該第二組結構具有基本上彼此相等的第二高度。電子器件也包括包含第二有機層的第二線，該有機層至少部分地位于第二開口矢量內并覆蓋于第二組結構之上。

以上一般描述和以下詳細描述僅僅是示例性的和說明性的，而非作為所附權利要求中所限定的本發明的限制。

附圖說明

本發明在附圖中作為示例示出而非限制。

圖1和2分別包括包含在形成一示例性電子器件的工藝期間的包括襯底各個部分的立體圖和橫截面視圖的示例，其中一結構覆蓋該襯底并限定了一組開口。

圖3包括在形成一示例性電子器件的分配工藝期間的橫截面視圖示例。

圖4和5包括在為圖1所示示例性電子器件印刷了線形有機層之后的橫截面視圖示例。

圖6和7分別包括在圖4和5的襯底上形成線形附加有機層和第二電極之后的平面圖和橫截面視圖的示例。

圖8包括包含具有不同高度的橫向部分的另一結構的立體圖示例。

圖9包括可在形成電子器件時使用的另一印刷圖案的立體圖的示例。

具體實施方式

在一個實施例中，電子器件包括襯底和覆蓋于該襯底之上、并限定了以一矢量組方式排列的一開口陣列的結構。在沿著該矢量組第一矢量的開口之間的第一位置上，這些第一位置上的第一高度基本上彼此相等。該電子器件也包括線形的有機層，該有機層至少部分地位于沿著第一矢量的開口內，并覆蓋在處于沿著第一矢量的開口之間位置上的結構之上。

在一個示例中，該結構是阱結構。電子器件可包括輻射發射元件、輻射響應元件或其組合。

在另一個示例中，有機層包括有機活性層。在又一示例中，有機層包括電荷注射層、電荷輸運層、電荷阻擋層或其任意組合。

在沿著第二矢量組第二矢量的開口之間的第二位置上，這些第二位置上的第二高度可基本上彼此相等。第一高度和第二高度可基本上彼此相等，或者第一高度可顯著不同于第二高度。在一個示例中，第一矢量和第二矢量定向成彼此基本上垂直。

在又一個示例中，電子器件包括位于襯底與結構之間的電極。在另一個示例中，電子器件包括覆蓋于有機層上的電極。