[發(fā)明專利]半導(dǎo)體片縱式熱處理裝置用磁性流體密封單元

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200580043902.2
• 申請(qǐng)日: 2005-12-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101084571A
• 公開(kāi)（公告）日: 2007-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 島崎靖幸;野口學(xué)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社理學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/205
• 分類號(hào): H01L21/205;H01L21/22;H01L21/324
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 史雁鳴

1.一種磁性流體密封單元，該磁性流體密封單元裝入到縱式熱處理裝置中，所述縱式熱處理裝置，在利用保持器在縱向方向上隔開(kāi)一定間隔地保持多個(gè)被處理基板的同時(shí)，一面使所述保持器在微小的預(yù)壓力或者真空的高溫反應(yīng)容器內(nèi)旋轉(zhuǎn)，一面對(duì)所述反應(yīng)容器內(nèi)的被處理基板進(jìn)行熱處理，其特征在于，所述磁性流體密封單元包括：

旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)形成在所述反應(yīng)容器的底部的軸孔進(jìn)入反應(yīng)容器內(nèi)，將旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力傳遞給所述保持器，

筒狀單元主體，所述筒狀單元主體安裝在所述反應(yīng)容器的底部外側(cè)，同時(shí)，具有與所述軸孔連通的支承孔，在該支承孔內(nèi)貫通插入所述旋轉(zhuǎn)軸，

外殼構(gòu)件，所述外殼構(gòu)件固定在所述旋轉(zhuǎn)軸的下端，從所述單元主體的下方向外周翻回，

磁性流體密封部，所述磁性流體密封部利用磁性流體將所述旋轉(zhuǎn)軸和單元主體之間的間隙密封，

軸承部，所述軸承部在所述單元主體與外殼構(gòu)件之間設(shè)置于前述單元主體的下端部，

氣體供應(yīng)通路，所述氣體供應(yīng)通路比所述磁性流體密封部更靠近反應(yīng)容器側(cè)，并且在所述磁性流體密封部附近的位置中，向所述旋轉(zhuǎn)軸和單元主體之間的間隙供應(yīng)清洗氣體。

2.如權(quán)利要求1所述的磁性流體密封單元，其特征在于，所述磁性流體密封部裝入到所述單元主體的下部位置。

3.如權(quán)利要求1所述的磁性流體密封單元，其特征在于，所述單元主體，在向所述反應(yīng)容器的底部進(jìn)行安裝的安裝部與所述磁性流體密封部的裝入部分之間，形成散熱手段。

4.如權(quán)利要求3所述的磁性流體密封單元，其特征在于，所述散熱手段的結(jié)構(gòu)為：所述單元主體的橫截面面積比所述磁性流體密封部的裝入部分小。

5.如權(quán)利要求3所述的磁性流體密封單元，其特征在于，所述散熱手段是形成在所述單元主體的外表面上的散熱翅片。

6.如權(quán)利要求1所述的磁性流體密封單元，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)軸，在中心軸上具有從下端起在一定的長(zhǎng)度上形成的中空部，并且，利用熱傳導(dǎo)率比所述旋轉(zhuǎn)軸高的材料形成的熱傳導(dǎo)軸被內(nèi)切地裝入到該中空部中，

前述熱傳導(dǎo)軸能夠在軸向方向上移動(dòng)。

7.如權(quán)利要求1所述的磁性流體密封單元，其特征在于，在從所述氣體供應(yīng)通路供應(yīng)清洗氣體的前述間隙部分上，形成具有比其它的間隙部分大的容積的槽。

8.如權(quán)利要求1所述的磁性流體密封單元，其特征在于，在形成于前述反應(yīng)容器底部的軸孔的附近位置處，在前述旋轉(zhuǎn)軸與單元主體之間，形成一對(duì)或者多對(duì)與前述旋轉(zhuǎn)軸具有相同中心的同心圓狀的迷宮式密封件。