[發明專利]帶有噴射偏轉的噴射冷卻

無效

• 申請號: 200580041567.2
• 申請日: 2005-10-31
• 公開（公告）號: CN101069284A
• 公開（公告）日: 2007-11-07
• 發明（設計）人: C·E·巴什;C·D·佩特爾
• 申請（專利權）人: 惠普開發有限公司
• 主分類號: H01L23/473
• 分類號: H01L23/473
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 曾祥夌;趙辛

1.一種用于以冷卻流體來冷卻元件(101)的系統，包括：

第一噴射器(102)，其具有構造成用以噴出所述冷卻流體的射流 (105)的噴口；和

第一射流偏轉器，其是可操作的，以便選擇性地控制所述射流在 沿第一方向噴射和沿第二方向噴射之間的偏轉；

其中，所述第一方向是朝向所述元件的不受阻的方向；

所述系統還包括：

第二噴射器，其具有構造成用以噴出所述冷卻流體射流的噴口；

第二射流偏轉器，其是可操作的，以便選擇性地控制所述第二噴 射器的射流在沿第二噴射器的第一方向噴射和沿第二噴射器的第二 方向噴射之間的偏轉；和

控制器(135)，其配置成用以控制所述第一射流偏轉器和第二射流 偏轉器的操作；

其中，所述第二噴射器的第一方向和第二方向是朝向所述元件的 不受阻的方向；并且

其中，所述第一噴射器的第一方向和所述第二噴射器的第二方向 均朝向在所述元件上的單個發熱部位。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括構造成用以 阻擋沿所述第二方向噴射的冷卻流體撞擊所述元件的阻礙件(161)。

3.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一射流偏轉 器構造成用于以兩個自由度來偏轉所述射流。

4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，還包括：

加熱器(131)，其構造成用以加熱由所述噴口發射的冷卻流體；和

控制器(135)，其配置成用以通過對所述加熱器周期性地通電，來 控制其中所述射流分離成微滴的離所述噴口的距離。

5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一噴射器的 噴口與冷卻流體源流體相通，所述冷卻流體源適于在足以連續地噴出 所述冷卻流體射流的壓力下為所述噴口提供冷卻流體。

6.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述第一射流偏轉 器包括構造成用以不對稱地加熱所述噴口外圍部分的加熱器(131)。

7.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述第一射流偏轉 器包括構造成用以接觸所述射流的可移動的控制面(241)。

8.根據權利要求5所述的系統，其特征在于，所述第一射流偏轉 器包括與形成所述射流的所述冷卻流體相接觸的第一電極(341)，以及 第二電極(343)，所述第二電極(343)定位成當在所述第一電極和所述第 二電極之間施加電壓時用于偏轉所述射流。

9.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述第一噴射器包 括配置成用以響應于控制信號而噴射漸增式冷卻流體射流的噴射促 動器。