[發明專利]等離子加工設備有效
| 申請號： | 200580031890.1 | 申請日： | 2005-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN101023713A | 公開（公告）日： | 2007-08-22 |
| 發明（設計）人： | 武內稔公;中島節男;齋藤直道;西川理 | 申請（專利權）人： | 積水化學工業株式會社 |
| 主分類號： | H05H1/24 | 分類號： | H05H1/24;H01L21/3065;C23C16/50 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 陳平 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子 加工 設備 | ||
【權利要求書】：
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