[發(fā)明專利]用于手征光學(xué)外差法的系統(tǒng)和方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200580026830.0
• 申請日: 2005-06-29
• 公開（公告）號: CN101052868A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: P·R·吉布斯;J·D·畢布
• 申請（專利權(quán)）人: 斯埃諾公司
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所
• 代理人: 楊曉光;李崢

1.一種用于檢測樣品的手征特性的方法，包括：

產(chǎn)生以第一調(diào)制頻率ω調(diào)制的光束；

以第二調(diào)制頻率φ對該光束進(jìn)行調(diào)制；

在非線性光電檢測器處接收所述被調(diào)制的光束；以及

從所述非線性光電檢測器的混合輸出分析至少一個互調(diào)制邊頻帶頻率，以確定所述樣品的手征特性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述接收步驟還包括通過分析偏振器接收所述被調(diào)制的光束，所述分析偏振器將來自所述被調(diào)制的光束的分離光束提供到所述非線性光電檢測器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述接收步驟還包括通過分析偏振器接收所述被調(diào)制的光束，所述分析偏振器將所述被調(diào)制的光束的第一部分提供到所述非線性光電檢測器內(nèi)的第一檢測器，并且將所述被調(diào)制的光束的第二部分提供到所述非線性光電檢測器的第二檢測器，其中所述第一檢測器和第二檢測器用作為平衡光接收器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的方法，其中第一調(diào)制信號的所述頻率ω和第二調(diào)制信號的所述頻率φ與接收所述光接收器的輸出的鎖相檢測器的頻率基準(zhǔn)同步。

5.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中所述第一調(diào)制信號是大的光學(xué)調(diào)制信號，而所述第二調(diào)制信號是更弱的關(guān)注的手征光學(xué)信號。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，還包括，在接收步驟之前，將所述被調(diào)制的光束的第一部分和所述被調(diào)制的光束的第二部分清零，以便對于所述分析步驟減去由所述第一調(diào)制信號和第二調(diào)制信號構(gòu)成的基頻。

7.根據(jù)權(quán)利要求6的方法，其中所述分析步驟還包括，在一組相加互調(diào)制邊頻帶的一個或更多個處選擇性地分析所述至少一個互調(diào)制邊頻帶頻率。

8.根據(jù)權(quán)利要求7的方法，其中所述分析步驟還包括在頻率為φ+ω的相加互調(diào)制邊頻帶處選擇性地分析所述至少一個互調(diào)制邊頻帶頻率。

9.根據(jù)權(quán)利要求7的方法，其中所述分析步驟還包括在頻率為φ+2ω的相加互調(diào)制邊頻帶處選擇性地分析所述至少一個互調(diào)制邊頻帶頻率。

10.根據(jù)權(quán)利要求6的方法，其中所述分析步驟還包括在一組相減互調(diào)制邊頻帶中的一個或更多個處選擇性地分析所述至少一個互調(diào)制邊頻帶頻率。

11.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述分析步驟還包括分析互調(diào)制邊頻帶級的比值。

12.根據(jù)權(quán)利要求11的方法，其中分析所述互調(diào)制邊頻帶級的比值(φ+2ω)/(φ+ω)，獲得與所述樣品的手征特性線性相關(guān)的信號。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其中所述樣品的手征特性是所述樣品的對映異構(gòu)體的比值。

14.一種用于測量樣品的手征光學(xué)特性的設(shè)備，包括：

第一調(diào)制器，其以ω的頻率在探測光束上施加第一調(diào)制；

第二調(diào)制器，其以φ的頻率在所述探測光束上施加第二調(diào)制；以及

非線性光電檢測器，其混合所述第一調(diào)制與所述第二調(diào)制，以分析在互調(diào)制邊頻帶處的頻率分量，所述互調(diào)制邊頻帶的級與所述樣品的手征光學(xué)特性相關(guān)。

15.根據(jù)權(quán)利要求14的設(shè)備，其中所述第一調(diào)制器對所述探測光束施加光學(xué)調(diào)制。

16.根據(jù)權(quán)利要求15的設(shè)備，其中所述第二調(diào)制器對所述探測光束施加系統(tǒng)偏振調(diào)制。

17.根據(jù)權(quán)利要求14的設(shè)備，還包括分析偏振器，其在所述第二調(diào)制器之后接收所述探測光束，并將分離的光束提供到所述非線性光電檢測器。

18.根據(jù)權(quán)利要求17的設(shè)備，其中所述非線性光電檢測器還包括：

第一檢測器，其接收所述分離的光束的第一部分；以及

第二檢測器，其接收所述分離的光束的第二部分。

19.根據(jù)權(quán)利要求18的設(shè)備，其中具有所述第一檢測器和所述第二檢測器的所述非線性光電檢測器是平衡光接收器。

20.根據(jù)權(quán)利要求14的設(shè)備，還包括鎖相檢測器，其用于接收從所述非線性光電檢測器輸出的信號，并為所述第一調(diào)制器和所述第二調(diào)制器產(chǎn)生調(diào)制信號。

21.根據(jù)權(quán)利要求20的設(shè)備，其中所述第一調(diào)制信號的頻率ω和所述第二調(diào)制信號的頻率φ與所述鎖相檢測器的頻率基準(zhǔn)同步。