[發明專利]半導體集成電路、檢查裝置和半導體集成電路的檢查方法無效
| 申請號： | 200580023273.7 | 申請日： | 2005-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN1985181A | 公開（公告）日： | 2007-06-20 |
| 發明（設計）人： | 飯田泉;伊野口誠 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人： | 黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 集成電路 檢查 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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