[發(fā)明專利]液滴沉積裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200580023272.2
• 申請日: 2005-07-11
• 公開（公告）號: CN101107128A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 斯蒂芬·坦普爾;保羅·雷蒙德·特魯里
• 申請（專利權(quán)）人: XAAR科技有限公司
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/16
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

1.一種用于液滴沉積的流體泵，該流體泵包括：

壓力腔室陣列，所述壓力腔室沿陣列方向并排布置；

可移位壁，該可移位壁將相鄰的壓力腔室分開，并包括沿與所述陣列方向平行的方向被極化的壓電材料以及用于向所述可移位壁施加電場的電極裝置；

并且其中，所述可移位壁布置成能夠在施加于所述電極裝置之間的電場的作用下，使所述相鄰腔室的第一個腔室中的容積移位，該容積不同于在另一腔室即第二相鄰腔室中移位的容積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體泵，其特征在于，所述壓力腔室含有液體。

3.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的流體泵，其特征在于，所述第二腔室中移位的容積大致為零。

4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的流體泵，其特征在于，所述可移位壁具有從其幾何中心偏移的中性軸。

5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的流體泵，其特征在于，所述可移位壁在所述壁的一側(cè)的剛度大于在所述壁的相對側(cè)的剛度。

6.根據(jù)權(quán)利要求要求5所述的流體泵，其特征在于，所述壁的剛度較大的一側(cè)與表現(xiàn)出較大容積移位的所述壓力腔室相鄰。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或權(quán)利要求6所述的流體泵，其特征在于，所述壁側(cè)的剛度通過形成在該側(cè)上的涂層來實現(xiàn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流體泵，其特征在于，所述涂層是導(dǎo)電的。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的流體泵，其特征在于，所述涂層通過非電解鍍形成。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或權(quán)利要求9所述的流體泵，其特征在于，所述涂層形成所述電極裝置。

11.根據(jù)權(quán)利要求7、8、9或10所述的流體泵，其特征在于，所述涂層還包括非導(dǎo)電涂層。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的流體泵，其特征在于，所述非導(dǎo)電涂層為無機(jī)的。

13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的流體泵，其特征在于，在所述可移位壁的兩側(cè)上形成有涂層，每一側(cè)的剛度由每一涂層的厚度決定。

14.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項所述的流體泵，其特征在于，所述第一相鄰腔室包括噴嘴。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的流體泵，其特征在于，所述第二相鄰腔室包括噴嘴。

16.根據(jù)權(quán)利要求1至15中任一項所述的流體泵用于泵送流體的應(yīng)用。

17.一種高密度多通道陣列、電脈沖液滴沉積裝置，該液滴沉積裝置包括多個平行的通道，所述多個平行的通道沿垂直于所述通道長度的陣列方向相互間隔開，所述通道具有：相應(yīng)的側(cè)壁，所述側(cè)壁沿所述通道的長度方向和既與所述長度方向垂直又與所述陣列方向垂直的方向延伸；相應(yīng)的噴嘴，所述噴嘴與所述通道連通，用于噴射液體液滴；連接裝置，所述連接裝置用于將所述通道連接到液滴沉積液體的源；以及可電致動的裝置，該可電致動的裝置被定位成與所述通道有關(guān)，在任何通道被選擇致動時，該可電致動的裝置與所選擇通道的側(cè)壁的至少一部分的所述陣列方向大致平行地進(jìn)行橫向移位，從而引起其中壓力的變化，實現(xiàn)從與所述通道連通的所述噴嘴噴射液滴，所述部分沿所述通道的長度的至少相當(dāng)大的部分延伸，并且其中涂層被施加到所述可電致動的裝置的相對表面上，所述涂層為每個表面提供不同的凈剛度。

18.一種形成用于流體泵裝置的致動器的方法，該方法包括以下步驟：提供包括第一表面和第二表面的壓電材料；在所述第一表面和所述第二表面上形成導(dǎo)電涂層，所述第一表面上的導(dǎo)電涂層比所述第二表面上的涂層剛硬；以及形成壓力腔室，從而使得所述壓電材料形成所述壓力腔室的一個壁。

19.一種致動器，該致動器包括分隔兩個致動區(qū)域的壓電材料體，所述致動器具有兩種致動模式，所述兩種致動模式使得在兩個致動區(qū)域中產(chǎn)生移位，與所述各模式相關(guān)的移位在一個致動區(qū)域中被加強(qiáng)，而在另一致動區(qū)域中被抵消。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的致動器，其特征在于，由每種模式引起的移位在大小上大致相等，從而在一個致動區(qū)域中基本沒有由致動引起的凈移位。