[發(fā)明專利]利用帶電粒子束研究或修改表面的裝置和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200580019455.7 | 申請日： | 2005-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN1969364A | 公開（公告）日： | 2007-05-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 克勞斯·埃丁格;約瑟夫·塞爾邁爾;托爾斯滕·霍夫曼 | 申請（專利權）人： | 納沃技術有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/02 | 分類號： | H01J37/02;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 楊生平;楊紅梅 |
| 地址： | 德國羅*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 帶電 粒子束 研究 修改 表面 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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