[發明專利]基于等離子體的離子注入的法拉第劑量和均勻度監測器有效
| 申請號： | 200580017420.X | 申請日： | 2005-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN101015034A | 公開（公告）日： | 2007-08-08 |
| 發明（設計）人： | S·R·沃爾瑟;R·多賴;H·佩爾辛;J·朔伊爾;B·－W·擴;B·O·彼得森;C·利維特;T·米勒 | 申請（專利權）人： | 瓦里安半導體設備公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01J37/244 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張亞寧;梁永 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 等離子體 離子 注入 法拉第 劑量 均勻 監測器 | ||
【權利要求書】：
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