[發明專利]半導體集成電路器件的制造方法無效
| 申請號： | 200580015905.5 | 申請日： | 2005-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN1954225A | 公開（公告）日： | 2007-04-25 |
| 發明（設計）人： | 稹平尚宏;今須誠士;佐藤齊尚 | 申請（專利權）人： | 株式會社瑞薩科技 |
| 主分類號： | G01R31/26 | 分類號： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 | 代理人： | 季向岡 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 集成電路 器件 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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