[發明專利]具有通過襯底的導電路徑的MEMS器件有效
| 申請號： | 200580015730.8 | 申請日： | 2005-04-14 |
| 公開（公告）號： | CN1953933A | 公開（公告）日： | 2007-04-25 |
| 發明（設計）人： | 基蘭·P·哈尼;勞倫斯·E·費爾頓;托馬斯·基蘭·努南;蘇珊·A·阿里;布魯斯·瓦赫特曼 | 申請（專利權）人： | 模擬設備公司 |
| 主分類號： | B81B7/00 | 分類號： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 穆德駿;黃啟行 |
| 地址： | 美國馬*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 通過 襯底 導電 路徑 mems 器件 | ||
【說明書】：
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