[發明專利]基板拱頂無效
| 申請號： | 200580013199.0 | 申請日： | 2005-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN1977066A | 公開（公告）日： | 2007-06-06 |
| 發明（設計）人： | 瀧本昌行;小室弘之;阿部辰彌;布施豐;青名端一仁 | 申請（專利權）人： | 株式會社昭和真空 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 田軍鋒;王愛華 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拱頂 | ||
【權利要求書】：
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