[實(shí)用新型]一種電容式MEMS加速度傳感器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200520082496.8 | 申請日： | 2005-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN2821576Y | 公開（公告）日： | 2006-09-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 顏永安;于國良;唐曉剛;牛德芳;趙冰;孫中心;星學(xué)奎;張桂先;張樂巧 | 申請（專利權(quán)）人： | 威海雙豐電子集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 威海科星專利事務(wù)所 | 代理人： | 馬良悅 |
| 地址： | 264209山東省威*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電容 mems 加速度 傳感器 | ||
【權(quán)利要求書】：
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