[發(fā)明專利]彩色感光性組合物及其制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510135364.1 | 申請(qǐng)日: | 2005-12-31 |
| 公開(公告)號(hào): | CN1991580A | 公開(公告)日: | 2007-07-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃國(guó)棟;趙希德;陳宜見 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 |
| 主分類號(hào): | G03F7/004 | 分類號(hào): | G03F7/004 |
| 代理公司: | 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人: | 劉新宇 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)灣新竹*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 彩色 感光性 組合 及其 制造 方法 | ||
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備





