[發(fā)明專(zhuān)利]用于半導(dǎo)體銅制程的水相清洗組合物有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510072136.4 | 申請(qǐng)日： | 2005-05-20 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1865423A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-11-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳建清;劉文政;薛景全;霍登彥 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 長(zhǎng)興開(kāi)發(fā)科技股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C11D7/32 | 分類(lèi)號(hào)： | C11D7/32;H01L21/30 |
| 代理公司： | 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 王允方 |
| 地址： | 中國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 半導(dǎo)體 銅制 清洗 組合 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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