[發(fā)明專利]拋光設備無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510071629.6 | 申請日： | 2005-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN1683112A | 公開（公告）日： | 2005-10-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 宮小忠一;岸田敬實 | 申請（專利權）人： | 不二越機械工業(yè)株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 顧峻峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 設備 | ||
【說明書】：
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