[發明專利]一種多晶硅振動膜硅微電容傳聲器芯片及其制備方法無效
| 申請號： | 200510068006.3 | 申請日： | 2005-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN1859815A | 公開（公告）日： | 2006-11-08 |
| 發明（設計）人： | 喬東海;胡維;田靜;徐聯;汪承灝 | 申請（專利權）人： | 中國科學院聲學研究所 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100080北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 振動 膜硅微 電容 傳聲器 芯片 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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