[發明專利]晶圓搬運裝置及方法無效
| 申請號： | 200510055183.8 | 申請日： | 2005-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN1833969A | 公開（公告）日： | 2006-09-20 |
| 發明（設計）人： | 彭國豪 | 申請（專利權）人： | 旺宏電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B65G49/07 | 分類號： | B65G49/07;H01L21/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 陳亮 |
| 地址： | 臺灣省新竹科學*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 搬運 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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