[發明專利]微機械碳納米管場發射型非致冷熱成像器件及制作方法有效
| 申請號： | 200510026744.1 | 申請日： | 2005-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN1727855A | 公開（公告）日： | 2006-02-01 |
| 發明（設計）人： | 馮飛;王躍林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G01J5/10 | 分類號： | G01J5/10;H01L31/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 納米 發射 致冷 成像 器件 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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