[發(fā)明專利]廢氣處理設(shè)備無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510023086.0 | 申請(qǐng)日： | 2005-12-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1990085A | 公開（公告）日： | 2007-07-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黃偉裕;洪煜堃;劉享星;古義榔;簡(jiǎn)弘民;吳信賢;黃俊超 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司;財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院 |
| 主分類號(hào)： | B01D50/00 | 分類號(hào)： | B01D50/00 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 臺(tái)灣省新竹科學(xué)*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 廢氣 處理 設(shè)備 | ||
【說(shuō)明書】：
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