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[發明專利]基于半導體激光-電荷耦合器件的微位移測量系統無效

專利信息
申請號: 200510019072.1 申請日: 2005-07-12
公開(公告)號: CN1712885A 公開(公告)日: 2005-12-28
發明(設計)人: 陳昌浩;倪煥明;楊志;陳方胤 申請(專利權)人: 陳昌浩
主分類號: G01B11/02 分類號: G01B11/02;G01B21/02
代理公司: 武漢宇晨專利事務所 代理人: 黃瑞棠
地址: 430060湖北省武漢*** 國省代碼: 湖北;42
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基于 半導體 激光 電荷耦合器件 位移 測量 系統
【說明書】:
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