[發明專利]板、襯底和晶片表面性質的全場光學測量無效
| 申請號： | 200480006296.2 | 申請日： | 2004-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN1759296A | 公開（公告）日： | 2006-04-12 |
| 發明（設計）人： | A·J·諾薩克斯;D·歐文;S·戈萊頓;S·奧爾森 | 申請（專利權）人： | 奧瑞星 |
| 主分類號： | G01B9/02 | 分類號： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 晶片 表面 性質 全場 光學 測量 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于奧瑞星，未經奧瑞星許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200480006296.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
