[實(shí)用新型]柱狀噴灑顯影和霧狀噴灑顯影互換的顯影裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200420055404.2 | 申請日： | 2004-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN2757182Y | 公開（公告）日： | 2006-02-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王紹勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 沈陽芯源先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/32 | 分類號： | G03F7/32;G03F7/26 |
| 代理公司： | 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人： | 張志偉 |
| 地址： | 110168遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 柱狀 噴灑 顯影 霧狀 互換 裝置 | ||
【說明書】：
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G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
