[實用新型]直線電機式硅片搬送機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201120273880.1
• 申請日: 2011-07-30
• 公開（公告）號: CN202175407U
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發(fā)明（設計）人: 魏海濱;趙建軍;鄭海紅;張素枝;李向東;任劍;李強;朱躍紅
• 申請（專利權）人: 太原風華信息裝備股份有限公司
• 主分類號: B65G43/08
• 分類號: B65G43/08;B65G47/91
• 代理公司: 山西科貝律師事務所 14106
• 代理人: 陳奇

1.一種直線電機式硅片搬送機構，包括PLC和處理硅片平臺（3），在處理硅片平臺（3）的一側設置有柔性皮帶進料機構（1），在絲印平臺（3）的另一側設置有柔性皮帶出料機構（5），在柔性皮帶進料機構（1）的下方設置有輸入硅片行走橫梁（2），在柔性皮帶出料機構（5）的下方設置有輸出硅片行走橫梁（4），其特征在于，在柔性皮帶進料機構（1）的硅片傳送平臺上設置有輸入吸盤讓位缺口（13），在輸入吸盤讓位缺口（13）的兩側的柔性皮帶進料機構（1）的硅片傳送平臺上分別設置有硅片限位塊（14）和硅片位置正位調整塊（15），硅片位置正位調整塊（15）與正位氣缸（16）的輸出軸連接，正位氣缸（16）與PLC電連接，設置在柔性皮帶進料機構（1）的硅片傳送平臺下方的同步帶驅動電機（10）通過同步帶輪（11）驅動同步帶（12）傳送硅片，同步帶驅動電機（10）與PLC電連接，輸入硅片行走橫梁（2）的底座板（17）豎立固定在機架上，在底座板（17）的前面板上分別固定設置有伺服電機（18）和凸輪軸（20），在凸輪軸（20）的兩端分別設置有一凸輪（21），與PLC電連接的伺服電機（18）通過驅動同步帶（19）驅動兩凸輪轉動，在底座板（17）的后面板上固定設置有滑塊（26），在升降板（24）上固定設置有升降導軌（25），升降導軌（25）與滑塊（26）活動連接在一起，在升降板（24）的底端兩側分別固定設置有兩塊L形連接塊（23），在L形連接塊（23）的尾端均設置有滾輪（22），滾輪（22）與凸輪（21）滾動連接，在升降板（24）上端面上固定設置有直線電機定子（27），直線電機動子（28）可沿直線電機定子（27）在左右水平方向上移動，在直線電機動子（28）上端固定設置有傳送硅片的負壓吸盤（6），傳送硅片的負壓吸盤（6）設置在輸入吸盤讓位缺口（13）中，在直線電機動子（28）側面固定設置有拖鏈連接板（7），在拖鏈連接板（7）與輸入硅片行走橫梁（2）的底座板（17）之間設置有拖鏈（8）。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種直線電機式硅片搬送機構，其特征在于，所述的輸出硅片行走橫梁（4）的結構與輸入硅片行走橫梁（2）的結構相同，硅片出料吸盤（9）設置在柔性皮帶出料機構（5）的出料吸盤讓位口中；在所述的柔性皮帶出料機構（5）中設置有輸出同步帶驅動電機（30）和輸出同步帶輪（29）。