[發(fā)明專利]含鉿膜形成材料、以及該形成材料和含鉿薄膜的制造方法無效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	200410087435.0	申請(qǐng)日：	2004-09-08
公開（公告）號(hào)：	CN1664164A	公開（公告）日：	2005-09-07
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	齋篤;曾山信幸;柳澤明男	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	三菱綜合材料株式會(huì)社
主分類號(hào)：	C23C16/18	分類號(hào)：	C23C16/18;C07F7/00
代理公司：	中國(guó)專利代理(香港)有限公司	代理人：	曹雯;龐立志
地址：	日本***	國(guó)省代碼：	日本;JP
權(quán)利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	含鉿膜形成材料以及薄膜制造方法
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