[實(shí)用新型]一種高效減排鍍膜機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020221680.0
• 申請(qǐng)日: 2020-02-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211999894U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周磊;詹全委
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 珠海和澤科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/34
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/34;C23C14/50
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 張龍哺

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高效減排鍍膜機(jī)，包括外殼，外殼的內(nèi)壁設(shè)有靶材；外殼內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)包括底臺(tái)和多個(gè)工件轉(zhuǎn)架，底臺(tái)設(shè)置有多個(gè)第一電機(jī)，每個(gè)工件轉(zhuǎn)架通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸與第一電機(jī)對(duì)應(yīng)連接，底臺(tái)下設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)底臺(tái)旋轉(zhuǎn)的第二電機(jī)；外殼設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口，進(jìn)氣口連接有氣泵，氣泵連接儲(chǔ)氣罐，出氣口連接有壓縮泵，壓縮泵通過(guò)連接管與儲(chǔ)氣罐連接，連接管設(shè)有排氣閥。通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)使工件的鍍膜效果更佳，自轉(zhuǎn)的工件轉(zhuǎn)架使裝爐量更大，鍍膜效率更高；通過(guò)壓縮泵將外殼內(nèi)的惰性氣體泵回儲(chǔ)氣罐循環(huán)利用，節(jié)約成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鍍膜設(shè)備，特別是一種高效減排鍍膜機(jī)。

背景技術(shù)

真空鍍膜機(jī)主要指一類(lèi)在較高真空度下對(duì)工件進(jìn)行鍍膜的設(shè)備。在真空條件下，通入惰性氣體，惰性氣體在高電壓電場(chǎng)作用下電離為離子，離子轟擊靶材，從而將靶材材料濺射到工件表面，形成薄膜。但由于目前的真空鍍膜機(jī)的工件轉(zhuǎn)架的不合理設(shè)置，導(dǎo)致真空鍍膜機(jī)的裝爐量少，生產(chǎn)效率低；同時(shí)惰性氣體在使用后會(huì)被直接排放到大氣中，造成浪費(fèi)，提高了生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一，提供一種高效減排鍍膜機(jī)。

本實(shí)用新型解決其問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：

一種高效減排鍍膜機(jī)，包括外殼，所述外殼的內(nèi)壁設(shè)有靶材；所述外殼內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)包括底臺(tái)和繞所述底臺(tái)的側(cè)邊設(shè)置的多個(gè)工件轉(zhuǎn)架，所述底臺(tái)設(shè)置有多個(gè)第一電機(jī)，每個(gè)所述工件轉(zhuǎn)架通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸與所述第一電機(jī)對(duì)應(yīng)連接，所述底臺(tái)下設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)所述底臺(tái)旋轉(zhuǎn)的第二電機(jī)；所述外殼設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口連接有氣泵，所述氣泵連接儲(chǔ)氣罐，所述出氣口連接有壓縮泵，所述壓縮泵通過(guò)連接管與所述儲(chǔ)氣罐連接，所述連接管設(shè)有排氣閥。

上述高效減排鍍膜機(jī)至少具有以下有益效果：通過(guò)第一電機(jī)帶動(dòng)工件轉(zhuǎn)架自轉(zhuǎn)，同時(shí)通過(guò)第二電機(jī)帶動(dòng)底臺(tái)以及底臺(tái)上的工件轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)，使裝載在工件轉(zhuǎn)架上各處的工件均可旋轉(zhuǎn)至與靶材相對(duì)的位置，從而使工件轉(zhuǎn)架上的所有工件均可被均勻上膜；通過(guò)公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)的共同作用，工件的鍍膜效果更佳，裝爐量更大，鍍膜效率更高。另外，通過(guò)壓縮泵將外殼內(nèi)的惰性氣體泵回儲(chǔ)氣罐循環(huán)利用，節(jié)約成本。

進(jìn)一步，所述連接管外螺旋地繞有冷卻水管。

具體地，所述連接管由銅制成。

具體地，所述工件轉(zhuǎn)架為圓柱狀。

進(jìn)一步，所述外殼包括第一半釜體、第二半釜體和轉(zhuǎn)軸；所述第一半釜體和所述第二半釜體均與所述轉(zhuǎn)軸鉸接，所述第一半釜體與所述第二半釜體閉合形成空腔。

進(jìn)一步，所述第一半釜體的邊沿和所述第二半釜體的邊沿均設(shè)有密封橡膠條。

本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一種高效減排鍍膜機(jī)圖。

具體實(shí)施方式

本部分將詳細(xì)描述本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，本實(shí)用新型之較佳實(shí)施例在附圖中示出，附圖的作用在于用圖形補(bǔ)充說(shuō)明書(shū)文字部分的描述，使人能夠直觀地、形象地理解本實(shí)用新型的每個(gè)技術(shù)特征和整體技術(shù)方案，但其不能理解為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制。

在本實(shí)用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。