[發明專利]翹曲膜結構的單刀雙擲射頻和微波微機械開關及制作方法有效
| 申請號： | 200410066370.1 | 申請日： | 2004-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN1588602A | 公開（公告）日： | 2005-03-02 |
| 發明（設計）人： | 焦繼偉;邢向龍;王躍林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | H01H59/00 | 分類號： | H01H59/00;H01P1/10 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 膜結構 單刀 射頻 微波 微機 開關 制作方法 | ||
【說明書】：
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