[發明專利]基板處理裝置及基板交接位置的調整方法有效
| 申請號： | 200410048415.2 | 申請日： | 2004-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN1573568A | 公開（公告）日： | 2005-02-02 |
| 發明（設計）人： | 伊藤和彥;石丸和俊;大倉淳;木下道生;道木裕一 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;B65G49/07 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉宗杰;葉愷東 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 裝置 交接 位置 調整 方法 | ||
【說明書】：
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